探针台的具体分类有哪些

探针台的分类可从多个维度进行划分，具体如下：

一、‌按操作方式分类‌

‌手动探针台‌：晶圆载物台、显微镜及定位器需人工操作。

‌半自动探针台‌：部分功能自动化，减少人工干预。

‌全自动探针台‌：自动化程度高，适用于高效率、高精度测试需求。

二、‌按测试样品分类‌

‌晶圆测试探针台‌：专用于半导体晶圆的性能测试。

‌LED/功率器件/MEMS测试探针台‌：分别对应LED器件、功率半导体及微机电系统的测试。

‌PCB/液晶面板/太阳能电池片测试探针台‌：适用于印刷电路板、显示屏及光伏器件的检测。

‌材料表面电阻率/纳米器件测试探针台‌：针对材料表面电学特性及纳米级器件的分析。

三、‌按应用及测试环境分类‌

‌高频/射频/微波测试探针台‌：用于高频信号场景下的测试。

‌高/低温环境测试探针台‌：支持极端温度（如超低温真空环境）下的器件性能评估。

‌低电流（fA级）/高压/大电流测试探针台‌：满足微弱电流或高压大电流的测试需求。

‌磁场/特殊气体环境测试探针台‌：适用于磁场或特定气体环境中的器件分析。

四、‌按功能组件分类‌

‌显微镜类型‌：包括体视显微镜、金相显微镜等，用于精密操作观察。

‌承载平台‌：含样品台、定位器平台等，适配不同尺寸晶圆（2~12英寸）及控温需求。

‌移动组件‌：提供X/Y/Z轴及旋转（R/T）方向的精密定位功能。

五、‌按产品级别分类‌

‌简易型‌：基础功能，适用于简单测试场景。

‌标准型/分析型‌：满足常规实验室或研发需求。

‌高端型‌：集成高精度传感器及复杂环境模拟功能。

六、‌其他特殊分类‌

‌非标准结构测试探针台‌：针对特殊器件或非标测试需求定制。

‌直流/交流探针台‌：分别侧重直流电性能（如电压、电阻）或交流信号（如频率、相位）测试。

以上分类综合了探针台的操作模式、测试对象、环境适配及功能设计等核心要素，不同类别适用于半导体、光电、集成电路等领域的多样化测试需求。