芯片ATE测试PAT（Part Average Testing）学习总结-20250916

目录

一、基本概念

二、静态PAT

三、动态PAT

四、参考链接：

一、基本概念

零件平均测试（Part Average Testing，PAT）是一种基于统计学的质量控制方法，主要用于半导体制造中筛选出与正常参数范围偏差较大的“异常值”芯片，以提高产品质量和可靠性；

二、静态PAT

静态PAT limits（Static PAT Limit）：基于一定数量的测试数据预先设定，并在一段时间内保持不变。

静态PAT限制通常每6个月或每8个晶圆lots更新一次，计算公式为：Static PAT Limits = Robust Mean ± 6 Robust Sigma；

从每个lot中随机选取30个以上器件进行测试，每个晶圆不同区域至少5个芯片（每个批次30个以上芯片），用于确定稳健平均值和sigma值（Robust mean、Robust Sigma）；

Robust Mean的计算方式：将数据按照从小到大排列，Robust Mean为中位数或中间两个数据的平均值；

Robust Sigma的计算方式：通过四分位数间距来计算，将数据从小到大排序，计算第一四分位数（Q1，即25%