HTOL集成电路老化测试学习总结-20250510

一、背景介绍

在产品可靠性体系中，电子元器件的可靠性占据着核心地位。特别是在微电子技术迅猛发展的当下，器件可靠性的重要性愈发显著。一旦器件出现可靠性问题，将对产品产生广发且严重的负面影响；

浴盆曲线

芯片的失效率在其生命周期内呈现近似浴盆曲线的变化趋势，分为早期失效期、可使用期（偶然失效期）、老化期。

早期失效期（Early failure）：失效率由高而急速下降，失效原因多为制造缺陷；

可使用期（Useful Life/Random failure）：失效率低且稳定，失效原因随机出现（如EOS故障）；

老化期（Wear out）：失效率会快速增加，失效原因为老化造成；

阿伦尼乌斯公式

阿伦尼乌斯公式（Arrhenius equation ）是化学术语，是瑞典的阿伦尼乌斯所创立的化学反应速率常数随温度变化关系的经验公式。

加速因子AF

• AF 表示相对于使用寿命应用条件的加速老化系数。如：AF为2 意味着压力条件下的1小时相当于有用条件下的20小时。

• 温度加速因子计算公式：

• 电压加速因子计算公式

• 失效率及寿命计算公式

-加速因子A=AF(T)*AF(V);

二、HTOL

基本概念

老化测试（High Temperture Operating Life, HTOL）使评估芯片可靠性的一项关键性测试，主要通过高温激活失效机制来评估芯片寿