SECS/GEM协议中Report ID、SV ID、CE ID与S2F33/S2F35/S2F37指令的关系及配置示例

1. 核心概念定义

1.1 Report ID（报告ID）

• 作用：唯一标识一个数据报告（Report），由设备或主机定义。
• 用途：当设备需要发送数据时，通过 Report ID 通知主机“这是哪个报告的数据”。
• 示例：Report ID = 100 表示“晶圆加工过程中的温度报告”。

1.2 SV ID（状态变量ID）

• 作用：标识设备中的某个具体状态变量（如温度、压力、时间等）。
• 用途：定义报告中需要收集的具体数据点。
• 示例：SV ID = 1 表示“反应腔温度”，SV ID = 2 表示“真空度”。

1.3 CE ID（收集事件ID）

• 作用：标识触发数据收集的事件。
• 用途：当某个事件发生时（如晶圆完成、设备报警），设备会根据 CE ID 的定义收集对应的 SV 数据。
• 示例：CE ID = 10 表示“晶圆加工完成事件”。

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2. 三者的关系

关系	说明
Report ID 与 SV ID	一个 Report ID 可以关联多个 SV ID，定义报告中需要收集哪些状态变量。例如，Report ID = 100 可能包含 SV ID = 1（温度）、SV ID = 2（时间）。
CE ID 与 Report ID	一个 CE ID 可以绑定一个或多个 Report ID。当 CE ID 事件触发时，设备会发送对应 Report ID 的报告。例如，CE ID = 10 触发 Report ID = 100 的报告。
SV ID 与 CE ID	CE ID 本身不直接关联 SV ID，但通过 Report ID 间接关联：CE ID 触发 Report ID，而 Report ID 包含 SV ID。

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3. 与 S2F33、S2F35、S2F37 的关系

SECS/GEM 中的 S2F33（GetReport）、S2F35（GetReportList）、S2F37（SendReport） 是数据收集功能的核心指令，直接涉及 Report ID、SV ID 和 CE ID。

3.1 S2F33（GetReport）

• 用途：主机请求设备返回某个 Report ID 的定义（即该报告包含哪些 SV ID）。
• 涉及字段：
  • Report ID：主机指定要查询的报告。
  • SV ID：设备返回该报告中包含的 SV ID 列表。
• 示例：
  • 主机发送 S2F33：Report ID = 100
  • 设备回应 S2F34：Report ID = 100 包含 SV ID = 1, 2, 3

3.2 S2F35（GetReportList）

• 用途：主机请求设备返回所有可用的 Report ID 列表。
• 涉及字段：
  • Report ID：设备返回所有预定义的报告 ID。
• 示例：
  • 主机发送 S2F35
  • 设备回应 S2F36：Report ID = 100, 200, 300

3.3 S2F37（SendReport）

• 用途：设备主动发送某个 Report ID 的数据（由 CE ID 触发）。
• 涉及字段：
  • Report ID：标识发送的是哪个报告。
  • SV ID：每个 SV ID 对应一个数据值。
• 示例：
  • CE ID = 10 触发事件，设备发送 S2F37：
    • Report ID = 100
    • SV ID = 1（温度）= 200°C, SV ID = 2（时间）= 30s

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4. 工作流程示例

1. 配置阶段（主机操作）：

   • 使用 S2F35 获取设备支持的 Report ID 列表。
   • 使用 S2F33 查询每个 Report ID 的 SV ID 定义。
   • 配置 CE ID 与 Report ID 的绑定关系（通过 SECS 消息或设备参数）。

2. 运行阶段（设备操作）：

   • 当 CE ID 事件发生（如晶圆加工完成），设备根据绑定的 Report ID 收集对应的 SV 数据。
   • 通过 S2F37 主动发送报告数据到主机。

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5. 关键点总结

概念	作用	关联指令
Report ID	标识数据报告，关联 SV ID 和 CE ID	S2F33、S2F35、S2F37
SV ID	定义报告中收集的具体数据点（如温度、压力）	S2F33、S2F37
CE ID	触发报告生成的事件（如晶圆完成、报警）	S2F37（间接）

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6. 常见问题与注意事项

1. Report ID 的唯一性：每个 Report ID 必须唯一，且需与 CE ID 明确绑定。
2. SV ID 的准确性：确保设备支持的 SV ID 与主机请求的 SV ID 一致。
3. CE ID 的触发逻辑：需在设备中正确配置 CE ID 的触发条件（如时间、事件类型）。
4. S2F37 的实时性：设备需在 CE ID 触发后尽快发送 S2F37，避免数据丢失。

通过合理配置 Report ID、SV ID 和 CE ID，并结合 S2F33/S2F35/S2F37 指令，可以实现设备与主机之间的高效数据通信和监控。